日前，國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展在北京舉行。此次展覽以“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展·科技引領(lǐng)未來”為主題，共分為七個(gè)組成部分進(jìn)行展示。其中，國家科技重大專項(xiàng)展示部分，向全國人民展示了“十二五”期間我國攻克的一批關(guān)鍵技術(shù)，研制的一批高端裝備，推出的一批重大產(chǎn)品以及培育的一批具有國際競爭力的國內(nèi)企業(yè)。其中，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司以“02專項(xiàng)”承擔(dān)企業(yè)的身份參與了展示。

作為“02專項(xiàng)”的重點(diǎn)承擔(dān)企業(yè)之一，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司先后承擔(dān)了多項(xiàng)12吋集成電路工藝設(shè)備開發(fā)，涵蓋90-14納米技術(shù)代，研制產(chǎn)品包括立式氧化爐、LPCVD（低壓化學(xué)氣相沉積）、銅互連單片清洗機(jī)、氣體質(zhì)量流量控制器等。通過持續(xù)攻堅(jiān)克難，七星電子 “02專項(xiàng)”項(xiàng)目在“十二五”期間取得豐碩成果。

其中，“12吋立式氧化爐”采用了先進(jìn)的MBTC控溫模型技術(shù)，大大提高了控溫精度、最大限度地降低了熱預(yù)算，完成了集成電路大生產(chǎn)線驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了對國內(nèi)主流集成電路芯片企業(yè)的銷售，并受到用戶企業(yè)的認(rèn)可；“12吋銅互連單片清洗設(shè)備”采用了先進(jìn)的兆聲波清洗技術(shù)，使顆粒去除效率最高可達(dá)99%，產(chǎn)品已經(jīng)完成大生產(chǎn)線驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了對中芯國際供貨；“12吋LPCVD設(shè)備”、“12吋高溫爐設(shè)備”、“12吋硅材料清洗設(shè)備”均在國內(nèi)產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)應(yīng)用；“質(zhì)量流量控制器”也完成用戶驗(yàn)證，部分核心技術(shù)上達(dá)到國際先進(jìn)水平，產(chǎn)品已批量供應(yīng)。“十二五”期間，七星電子立式爐和清洗設(shè)備在集成電路生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)配套12臺，其技術(shù)延伸應(yīng)用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，實(shí)現(xiàn)銷售500臺以上。氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域銷售逾萬臺，出口美國3000臺以上。